簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "技術".ckeyword (精準) and ckeyword.raw="自對準雙圖案微影技術"


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    考慮自對準雙圖案微影技術疊對誤差之佈局合理化
    • 電機工程系 /103/ 碩士
    • 研究生: 黃崇孟 指導教授: 方劭云
    • 自動對準雙圖案微影技術(self-aligned double patterning lithography)是目前20奈米以下的主要微影技術之一,在微影技術的發展下,尺寸微小化使得雙圖案微影技術的…
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